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[p-n junction] p-n 接面半導體 原理、結構及其應用

M.H. 2023-04-29 17:19:403683 瀏覽
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p-n junction (p-n 接面)相信大家都不陌生,其原理也相當簡單,但應用卻相當廣泛!筆者在這邊先介紹簡單的p-n 接面結構及物理特性,進一步再介紹其應用元件,包含:

  1. 二極體(diode): 一般二極體 (diode)、整流器(Rectifier)、齊納二極體(Zener diode)、瞬態電壓抑制二極體(TVS diode)、蕭特基二極體(Schottky diode)
  2. 光電元件: 發光二極體 (LED)
  3. 太陽能電池: 矽基太陽能電池 (Si-based Solar cell)、異質接面太陽能電池 (HIT solar cell)、薄膜太陽能電池 (Thin film solar cell)
  4. MOSFET:nMOS、pMOS
  5. BJT : pnp、npn

現在我們拿矽(Silicon, 中國稱為"硅")作為基板,摻雜硼(Boron)或銻等元素為 p 型 (三價),此時半導體原子(如矽原子)外圍的四個電子和硼原子外圍的三個電子和一個電洞形成共價鍵時,因其有一個電洞,會吸引自由電子填入,使的硼原子為帶負電的"離子"。此類半導體由於含有較高濃度的「電洞」(「相當於」正電荷),因此成為能夠導電的物質。

同樣地,摻雜磷(Phosphorus)或銦等元素稱為 n 型(五價)。由於半導體原子(如矽原子)外圍的四個電子和磷原子外圍的五個電子形成共價鍵時,因其有一個額外的電子,此多於電子容易脫離磷原子的束縛而成為自由電子。於是,此類含自由電子濃度較高的半導體,因為其自由電子導電,而成為能夠導電的物質。

https://ithelp.ithome.com.tw/upload/images/20230426/20157739aOlX3oWCJ5.png
(參考自維基百科"pn結")

我想原理大家大概都不陌生,當將 p 型(p-type)半導體和 n 型(n-type)半導體接合時 (一般是使用磊晶技術),其 p 型半導體和 n 型半導體的接面"p-n 接面" (p-n junction) 會形成一個空乏區 (space charge region)。這是由於 p 型半導體其內具有大量的電洞、和 n 型半導體內具有大量的電子有關。兩者的雜質 (dopant) 開始互相往對方區域擴散,其接面處由於能量平衡會產生一個空乏區,此時具有電場,也稱為內建電位(built-in potential)Vbi。

https://ithelp.ithome.com.tw/upload/images/20230426/20157739Z71rN6jcSS.png
(參考自維基百科"pn結")

由於 p 型半導體大多數電洞往 n 型半導體擴散並被複合(recombination),因此留下負電荷在靠近 p 型半導體的邊界上(空乏區)。相反地,n 型半導體大多數電子往 p 型半導體擴散並被複合(recombination),留下正電荷靠近 n 型半導體的邊界上(空乏區)。因此空乏區內的電場與 p-n 半導體接合形成的電場相反,所以待平衡時,其形成的能量將再次阻擋雜質(dopant) 進一步擴散。白話一點來說,就是內建電位會停止接合處電子電動進一步再擴散! (於平衡狀況下),除非額外施加電壓,打破平衡。也就是之後我們要談的"順向偏壓"及"逆向偏壓"。

p-n 接面及其結構圖可參考維基百科"pn結"

[進階思考] 看了上述文字,不知各位讀者是否有其他想法呢? 如果沒有任何想法,那上述只是一般的硬知識而已! 其實,以固態(或材料)觀點來看,每種材料的能帶 (Energy band)都不同,於接合處產生的能帶扭曲所造成的能帶差(或能隙, energy band gap)都不同,此能帶差會改變(或調整)電子和電洞的遷移率,於外加電場下尤甚 (可以想成電子電洞的遷移之下,也就是電流開始流動,能帶所造成的"斜坡"會加速或減少電子(或電洞)的遷移速度。因此,我們只要調整摻雜濃度,材料厚度,沉膜時間,表面處理,材料結構(量子井 Quantum well),摻雜雜質種類(不同原子,或以不同比例摻雜)...等,只要能夠改變其能帶結構,就可以調整內建電場,和遷移速率(公式請參考半導體物理),這些也就是能帶工程的範圍。尚且先不討論外加電場,只以材料磊晶的方向討論能帶的改變。

此外,如果是電晶體,那花樣就更多了!因為電晶體(MOSFET 或是 BJT),結構較一般 p-n 二極體或二極體元件複雜,所以如果只是改變其材料結構的方向,除了上述的改變摻雜濃度,材料厚度,沉膜時間,表面處理,材料結構,摻雜雜質種類...之外,還有改變電極形狀 (通常是 MOSFET gate),和其材料結構 (氧化閘極的材料特性,包含多層氧化 gate oxide,high-k gate oxide...等),都可以改變其特性。

另外,如果是一般的矽薄膜元件(Thin file MOSFET),也可以透過退火改變矽晶格排列,已知矽原子有三種排列型態: 多晶矽(multi-crystal),單晶矽(single-crystal),非晶矽(amorphous),其材料特性都不同! 以薄膜電晶體(改變其通道材料特性),或薄膜太陽能電池(thin film solar cell,HIT solar cell)應用較為廣泛。

如果是三五族半導體 (HEMT),分為 enhanced mode 和 depletion mode 兩種,則除了改變磊晶結構 (一般三五族半導體磊晶結構較多較複雜),摻雜濃度,閘極形狀,閘極絕緣(氧化)材料種類...之外,因其具有 2DEG (two-dimensional electron gas,也就是量子井),所以,能帶工程的花樣又更多 (也因其具有 2DEG,所以電子電洞遷移速度遠高於 MOSFET),可以接合不同材料造能多量子井(multi-quantum well)進而改善其特性! 或是改變製程參數,蝕刻溶液濃度,比例,黃光微影時間,光罩圖案,passivation layer 保護層的材料種類,保護層與電極接合處之黏著層 (cohesive layer)之合金或其厚度...等等,也都可以改變其性能。(這些也都適用於 Si-based MOSFET)。

太陽能電池的部分除了能帶工程,也可以改變 p-n junction 的沉膜時間,沉膜條件,沉膜氣體種類,沉膜氣體比例,後製程退火(annealing)改變其材料特性......等等。或是可於結構內插入一層薄的金屬層(幾nm),可以透光,以增加其反射特性 (筆者曾經研究過於 thin film 太陽能電池內插入一層薄薄的鋁) ...等等。此外,表面處理或是層內增加粗糙內接層 (筆者也曾研究過) 也可以改善反射率。還有,電極的形狀也可以改變,如何減少遮蔽率以達到最佳光吸收率,或是於其表面塗一層可增加吸收光的塗層,這些都是很好的研究範圍!

LED 的部分,除了能帶工程(Energy band engineering),也可以使用壓電材料來製作,只要晶格匹配不同(mismatch),接合處於壓力下會產生電流,則可以增加其光電轉換效率。或是剛剛所講過的,表面吸收光能的面積,表面處理,製程的改變......等等,都可以改善其發光效能! 上述這些也都是很棒的題目!也都是很好的發表題材!希望大家會喜歡。


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